2024-10-12 13:08:09
全自动晶圆盒清洗机(Fully Automated FOUP Cleaner)[1]:适用场景:用DIW/有机溶剂(可选)实现FOUP清洁,通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥。设备特点:清洗对象:6/8/12半自动FOUP/Cassette/POD。设备主要构成:旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统(可选)等机构组成。清洗能力:8只FOUP/小时(依配置的清洗腔真空腔数量而定)。干进干出。人工分离FOUP、POD,人工上下料及更换工装。旋转式离心清洗,可正反调速旋转,对于产品表面的附着残留物容易去除。工装设有防呆机构,防止人工将清洗件放置错误。鼠笼设有旋转到位防呆检测。动平衡侦测转篮未定位保护,降低因人为导致设备损坏。主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制,主轴震动值可监测。可预设多条Recipe,操作简洁。选配SECS/GEM接口。可实现工件数据追溯,具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能。 购买晶圆盒清洗机推荐您选择江苏芯梦半导体设备有限公司!江苏集成电路清洗机设备展会
全自动FOUP清洗机是一款专为半导体行业设计的高性能清洗设备。它具有高度智能化的操作系统,用户只需简单设置参数,机器就能自动完成整个清洗流程。在清洗过程中,机器会先对FOUP进行预冲洗,去除表面的大颗粒杂质。然后,通过强力的化学清洗剂进行深度清洁,瓦解顽固的污渍和有机物。接着,再进行精细的漂洗和烘干,确保FOUP干燥、洁净。以某半导体工厂为例,使用我们的全自动FOUP清洗机后,产品良率显著提高,生产效率也大幅提升。这不仅节省了人力成本,还降低了因FOUP污染导致的产品报废率,为企业带来了可观的经济效益。北京集成电路清洗机设备展会江苏芯梦的设备结构稳固,性能可靠,是你的生产好帮手!
晶圆盒清洗的目的是为了确保晶圆在制造和运输过程中不受到污染。晶圆盒是一种用于存储和运输晶圆的容器,通常由聚合物或金属制成。在制造和运输过程中,晶圆盒可能会受到粉尘、油脂、化学物质等污染物的影响,这些污染物可能会影响晶圆的质量和性能。
通过对晶圆盒进行清洗,可以有效地去除盒内的污染物,确保晶圆在盒内处于干净的环境中。这可以减少晶圆生产过程中的污染风险,提高产品质量和生产效率。此外,清洗晶圆盒还可以延长其使用寿命和维护成本,减少生产成本。
总之,晶圆盒清洗是半导体制造中非常重要的一个环节,它可以确保晶圆在生产和运输过程中不受到污染,从而保证产品质量和生产效率。
全自动FOUP清洗机是半导体产业的重要助手。它凭借其先进的技术和稳定的性能,为FOUP的清洁工作立下了汗马功劳。这款清洗机采用了先进的超声波清洗技术,通过高频振动产生微小气泡,气泡破裂时释放的能量能够迅速剥离FOUP表面的污垢。同时,配合高压水枪冲洗,能够彻底去除深藏在缝隙中的污染物。此外,它还具备智能的水循环系统,能够合理利用水资源,降低清洗成本。以一家中型半导体制造企业为例,使用该清洗机后,每年可节约大量的用水成本,同时减少了污水排放,实现了经济效益和环境效益的双赢。芯梦设备采用先进的自动化控制技术,提升生产效率!
晶圆盒清洗机包括
FoupCleaner;
Xtrim-FC-M300/400高速型;
FouPCleaner;
Xtrim-FC-H300水平机
AutoFOUP/FOSBCleaningSystem
全自动FOUP/FOSB清洗机Xtrim-FC-A300
Xtrim-FC-M300Introduction:
产品介绍:
Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness;
在清洗机行业超25年经验;
ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou;
在上海,苏州有完善的服务和销售团队
Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners;
自主研发设计、生产、服务、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗;
SEMI S2认证;
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江苏芯梦半导体有限公司JSXM,成立于2019年8月,位于苏州吴中经济开发区,致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。江苏芯梦高度重视技术创新和知识产权保护,并先后获得了国家高新技术企业、江苏省双创人才企业、江苏省潜在独角曾企业、江苏省民营科技企业、江苏省三星级上云企业、姑苏创业人才企业、苏州市企业工程技术研究中心、苏州市瞪羚计划入库企业、东吴科技人才企业等多项荣誉资质。江苏集成电路清洗机设备展会