中国台湾国内槽式清洗设备 江苏芯梦半导体设备供应

工艺性能规格：粘附颗粒数：10颗/晶圆（大于0.15um）以下，但受用户整体设备影响。金属污染：非保修项目蚀刻均匀度：非保修项目设备竞争力：清洗设备的每个单元都是模块化定制，可实现规模化量产，降低客户的整体成本。工艺流程包括线锯后清洗、研磨后清洗、碱蚀清洗、DSP清洗。其中线锯后清洗、DSP清洗有长达30年以上制造经验。一般来说，晶圆清洗，如果φ300mm晶圆表面的颗粒多于10个，则被认为是NG（不良），粒径为0.1μm或更大。特色：高周转性：槽与槽之间搬运可实现在短时间搬运和短距离的控制系统兼容。可维护性：考虑可维护性的零件布局。设备设计：基于丰富实验数据的工艺优化设计。丰富业绩经验：根据客户的需求提供合适的定制设备。对应工艺：线锯后清洗、研磨后清洗、碱性蚀刻清洗、热处理前清洗、热处理后清洗、抛光后清洗。芯梦半导体为您量身打造专业清洗解决方案！中国台湾国内槽式清洗设备

晶圆槽式清洗设备通常包括以下主要组成部分：

清洗槽：清洗槽用于在特定的清洗液中对晶圆进行清洗。不同的清洗槽可以用于去除不同类型的污染物，如有机物、无机盐等。清洗槽通常配备搅拌装置，以确保清洗液在槽内均匀分布，提高清洗效果。

漂洗槽：漂洗槽用于对晶圆进行漂洗，去除清洗液残留和离子污染。漂洗槽通常使用高纯度的去离子水（DI水）进行漂洗，以确保晶圆表面的纯净度。

干燥槽：干燥槽用于将清洗后的晶圆进行干燥，以去除残留的水分。干燥槽通常使用热空气或氮气流进行干燥，以确保晶圆表面干燥和无尘。

控制系统：晶圆槽式清洗设备配备先进的控制系统，用于监测和控制清洗过程的各个参数，如清洗液的温度、流量、浓度等。控制系统可以实现自动化操作，并提供数据记录和报警功能。

运载系统：晶圆槽式清洗设备通常配备自动化的运载系统，用于将晶圆从一个槽转移到另一个槽，并控制处理步骤的顺序和时间。运载系统可以确保晶圆的安全和稳定传递，减少人为误差。

气体供应系统：清洗过程中可能需要供应气体，如氧气、氮气等，用于调节清洗液的成分和pH值，或者用于干燥晶圆。晶圆槽式清洗设备配备了气体供应系统，包括气体输送管道、压力控制装置和喷嘴等。 中国台湾国内槽式清洗设备芯梦槽式清洗设备采用智能化管理系统，助你实现生产智能化！

芯梦槽式湿法设备用于批式晶圆湿法清洗、刻蚀、光刻胶去除等工艺，提供多个槽体进行化学药液或纯水，结合热浸、喷淋、溢流、快速冲洗等清洗方式，配合先进的IPA干燥方式，可同时对25或50片晶圆进行工艺处理，可广泛应用于集成电路制造领域。

主要优势

小尺寸，高产能

先进的IPA干燥方式

工序可灵活编辑

无盒式（No-Cassette）50片晶圆批次处理

节能减排，降低成本

特征规格

配备先进的IPA干燥槽

配备稳定的晶圆传输系统

模块化设计，可客制化组合选配

可选配一体式清洗模块（多种化学药水与纯水在同一槽中进行工艺）

可选配兆声波清洗

全自动槽式清洗设备是一款专为大规模清洗作业设计的精良装备。它凭借其出色的性能和智能化的操作，成为众多行业的优先。此设备的清洗槽布局合理，依次进行浸泡、刷洗、冲洗等工序，确保彻底清洁。同时，它配备了高效的过滤系统，能够循环利用清洗液，降低成本并减少环境污染。比如在汽车零部件制造领域，全自动槽式清洗设备能够快速处理大量的零件，去除生产过程中的油污和杂质。在金属制品加工中，它能为各种金属件提供高质量的清洗服务，提升产品外观和性能。其人性化的操作界面，使操作人员能够轻松设置和监控清洗过程。芯梦槽式清洗设备采用先进的自动化控制技术，提升生产效率！

超声波晶圆清洗设备是利用科技力量的清洗利器。它以超声波原理为**，通过超声波振动产生的微小气泡爆破作用，对晶圆表面进行深度清洁。这些微小气泡就像一群勤劳的小精灵，在晶圆表面欢快地跳跃、爆破，将顽固的有机污染物一一***。它适用于对表面有机污染物的去除，就像一把精细的手术刀，能够精确地剔除那些微小而顽固的杂质。清洗后的晶圆表面光滑如丝，仿佛重获新生。选择我们的超声波晶圆清洗设备，让科技为你的晶圆清洗助力，为你的生产带来更高的品质和效率。江苏芯梦为广大客户提供性能优异的高性价比生产槽式清洗设备，助力中国企业升级转型！黑龙江晶圆槽式清洗设备厂家直销

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晶圆槽式清洗设备种类繁多，根据不同的清洗要求和应用场景，可以分为以下几种主要类型：单槽式清洗设备：这种设备通常包括一个或多个清洗槽，晶圆在不同的槽中经过清洗、漂洗、干燥等处理。适用于一般的晶圆清洗需求，常见于实验室和小规模生产线。多槽式清洗设备：这种设备包括多个清洗槽，可以实现多道工艺流程，例如清洗、漂洗、去离子水漂洗、干燥等，适用于对清洗工艺要求较高的半导体生产线。自动化晶圆清洗系统：这种设备配备自动化控制系统，可以实现晶圆的自动装载、清洗、漂洗和卸载，减少人工干预，提高生产效率和一致性。中国台湾国内槽式清洗设备