2024-10-29 14:06:07
我们提供各种半导体片盒、FOUP、FOSB清洁方案客户定制清洗方案做到360度无死角清洗,并防止细菌滋生专项研发双流体旋转喷射清洗方式,实现超微精密清洗,节能设计;高效干燥技术,AMC化合物去除技术全生产过程实时监控,兼容自动传输系统(AMHS);SEMI通讯标准兼容GEM300,符合SEMIS2、S8标准高产量,占地面积设计。
我们的晶圆盒清洗机采用智能化设计,结构紧凑,占用空间小,适合各种生产场景。外观精美,质感上乘,提升了生产品质。同时,我们的晶圆盒清洗机具有多种智能功能,能够自动识别晶圆盒类型,自动调整清洗和干燥的参数,保证清洗和干燥的效果稳定可靠。操作简单,维护方便,降低使用成本。选择我们的晶圆盒清洗机,让您的晶圆生产更加智能化、便捷!
江苏芯梦的设备具有多种智能功能,助你轻松应对生产挑战!福建集成电路清洗机设备展会
全自动晶圆盒清洗机(Fully Automated FOUP Cleaner)[1]:适用场景:用DIW/有机溶剂(可选)实现FOUP清洁,通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥。设备特点:清洗对象:6/8/12半自动FOUP/Cassette/POD。设备主要构成:旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统(可选)等机构组成。清洗能力:8只FOUP/小时(依配置的清洗腔真空腔数量而定)。干进干出。人工分离FOUP、POD,人工上下料及更换工装。旋转式离心清洗,可正反调速旋转,对于产品表面的附着残留物容易去除。工装设有防呆机构,防止人工将清洗件放置错误。鼠笼设有旋转到位防呆检测。动平衡侦测转篮未定位保护,降低因人为导致设备损坏。主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制,主轴震动值可监测。可预设多条Recipe,操作简洁。选配SECS/GEM接口。可实现工件数据追溯,具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能。 上海清洗机设备展会选择芯梦设备,让你的生产更加高效!
在FOUP内去除颗粒物的方法可以采取多种措施,以下是一些常见的方法:喷气清洗:使用压缩空气或氮气等气流,通过喷射到FOUP内部,将颗粒物从FOUP表面吹走。喷气清洗可以通过喷嘴、喷气等设备来实现,通常结合定向气流和适当的气流速度,以有效地去除颗粒物。超声波清洗:超声波清洗是一种利用高频声波震动的方法,可以将FOUP内的颗粒物从表面剥离。超声波的震动作用可以在微小的尺度上产生冲击波,从而破坏颗粒物与FOUP表面的附着力,使其脱落。湿拭清洗:湿拭清洗使用湿润的擦拭布或棉签等工具,直接擦拭FOUP的表面,将颗粒物吸附到擦拭物上。这种方法适用于较大或较粘附的颗粒物,可以通过多次擦拭和更换擦拭物来提高清洁效果。静电除尘:由于FOUP的材料通常具有一定的静电特性,可以利用静电除尘技术去除颗粒物。静电除尘通常通过在FOUP内部放置静电除尘装置,利用静电作用将颗粒物吸附到带电的部件上,然后移除这些带电部件以去除颗粒物。过滤器和过滤介质:在FOUP的设计中,可以使用过滤器和过滤介质来阻止颗粒物进入FOUP内部。这些过滤器通常位于FOUP的入口和出口处,以过滤空气中的固体颗粒和其他污染物,从而减少FOUP内的颗粒物数量。
全球FOUP清洗机(FOUPCleaner)厂商有HugleElectronics和BrooksAutomation等,全球前两大厂商共占有大约88%的市场份额。目前日本是全球的FOUP清洗机市场,占有大约48%的市场份额,之后是美国市场。2020年,全球FOUP清洗机市场规模达到了5.8亿元,预计2027年将达到9.6亿元,年复合增长率(CAGR)为5.3%。本报告研究全球与中国市场FOUP清洗机的产能、产量、销量、销售额、价格及未来趋势。重点分析全球与中国市场的主要厂商产品特点、产品规格、价格、销量、销售收入及全球和中国市场主要生产商的市场份额。历史数据为2016至2020年,预测数据为2021至2027年。按照不同产品类型,包括如下几个类别:全自动FOUP清洁机手动FOUP清洁机按照不同应用。
选择我司设备,让你的生产更加智能、自动化!
在半导体行业的璀璨星空下,FOUP 清洗机无疑是一颗耀眼的明星。在半导体生产线这个关键舞台上,它的重要性不言而喻。要知道,半导体制造中的晶圆和掩膜等关键组件都存放在 FOUP 里,它们对洁净程度的要求近乎苛刻。而 FOUP 清洗机就像一位技艺精湛的工匠,以高效、自动化的方式应对大批量 FOUP 的清洗和维护。每一次清洗,都像是为 FOUP 进行一场精心的洗礼,确保其内外表面一尘不染。这不仅保障了生产线上 FOUP 的有效性,还让它们时刻保持比较好状态,随时准备投入到紧张的半导体制造流程中,为生产高质量的半导体产品奠定了坚实的基础。这种精细、高效的清洗能力,使得 FOUP 清洗机成为半导体生产线不可或缺的得力助手。选择芯梦设备,让你的生产更加灵活、多样化!山东哪里有清洗机设备展会
选择我司设备,让你的生产更加智能化、自动化!福建集成电路清洗机设备展会
全自动FOUP清洗机是半导体制造领域的清洁设备。它凭借其精湛的工艺和创新的技术,为FOUP带来了前所未有的清洁体验。该设备的喷射系统采用了可变压力控制技术,可以根据FOUP的污染程度和材质,自动调整喷射压力,实现个性化的清洗方案。同时,它还具备紫外线消毒功能,能够有效杀灭FOUP表面的细菌和病毒。例如,在一些对卫生要求极高的半导体生产环境中,这款清洗机的紫外线消毒功能发挥了重要作用,确保了生产过程的无菌化,提高了产品的可靠性和安全性。福建集成电路清洗机设备展会