江苏全自动晶圆盒清洗机规格尺寸 江苏芯梦半导体设备供应

产品介绍:半导体清洗机请认准江苏芯梦半导体设备有限公司，经营各类半导体清洗机，为半导体清洗机专业供应商，其中就包含FOUP清洗机。FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒SmifFoup、Fosb、Cassette,可以实现无与比的清洗和干燥效果装载有待清洗的foup在Chambe的中转安装和固定在封的清洗室内36正反转动。由D1Wlate的表面张力、机械力进Patcdle清洗离心+热风进行供干等工艺组成，高效率、高质量完成foup的Particle清洗。设备特点：五大系统结构、纯水加热PWH、高压喷淋HPS（喷头位置/形状，可以根据客户料盒形态针对性调整）、热风烘干HAD（可选配CDA吹干和红外模式），江苏全自动晶圆盒清洗机规格尺寸、快速甩干HSD，江苏全自动晶圆盒清洗机规格尺寸、CDA/N2吹扫。配备强大的兼容性：4寸~12寸全尺寸兼容，江苏全自动晶圆盒清洗机规格尺寸，晶圆盒/光罩盒/弹匣/FOUP/FOSB等；30~60分钟完成1次清洗工艺，快速实现干进干出；四工位/六工位选择，依不同产品适配的装载量；配备可靠的过滤系统；EN18822-H14高等级空气过滤系统；0.1um超纯水过滤；0.003umCDA过滤。芯梦半导体为您量身打造专业清洗解决方案！江苏全自动晶圆盒清洗机规格尺寸

产品说明 

8-12 Inch 单片晶圆dry-in/dry-out清洗平台，适用于先进封装制程的particle、有机、无机、助焊剂等污染物清洗。可选配二流体、megasonic、超高压喷洗、RCA 、Hot water及蒸气等清洗方式，清洗工艺窗口宽，清洗能力强，占地面积小，性价比高等特点。

功能说明

制程均匀度可用 recipe 调控。

良率优于 wet bench type。

单片模式之机况可控制可追溯。

制程个别参数易于调整。

可控制之药液量使用,能保持每片芯片之相同制程环境。

洁净度控制优于批次生产。

Footprint 较小。

适用于 wafer dry in / dry out制程。

机台之安全性优于 bench type。

为未来湿式高阶设备之主流机台。 FOUP清洗机报价芯梦设备采用智能化管理系统，助你实现生产智能化！

对于晶圆加工的各个环节而言，清洗工艺都是必不可少的基本工序，随着芯片制造工艺先进程度的持续提升，对晶圆表面污染物的控制要求也在不断提高，清洗工序也不断向精细化发展，而对清洗设备的需求也在相应增加。

当前，国际制造产业的竞争日趋激烈，能否在半导体设备产业上赶超国外，关系着中国信息技术产业的前途。未来，首年科技将继续肩负国产半导体设备崛起的使命，不断推陈出新，加速研发新的清洗产品，满足不同市场需求。与此同时，首年科技也将在晶圆载具、铁环、光罩传输中加大投入，生产更具竞争优势的设备，助力中国芯片行业做大做强。

FOUP清洗设备是用于半导体制造中的FOUP（Front Opening Unified Pod）清洗的设备。FOUP清洗机是半导体制造中的关键设备，它能够有效地清洗FOUP，确保晶圆在制造和运输过程中不受到污染。FOUP是用于存储和运输半导体晶圆的标准化容器。FOSB清洗设备旨在确保FOUP内部的洁净度，以防止污染影响晶圆生产。该设备通常包括洗涤、漂洗和干燥功能，能够有效去除FOUP内部的微粒和有机物。通过使用FOSB清洗设备，半导体制造厂商可以确保FOUP在使用前达到所需的洁净度标准，从而减少晶圆生产过程中的污染风险。我司设备设计精巧，功能齐全，助你实现生产多样化！

全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:适用场景：用DIW/有机溶剂（可选）实现FOUP清洁，通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥。设备特点：清洗对象：6/8/12半自动FOUP/Cassette/POD。设备主要构成：旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统（可选）等机构组成。清洗能力：8只FOUP/小时（依配置的清洗腔真空腔数量而定）。干进干出。人工分离FOUP、POD，人工上下料及更换工装。旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易去除。工装设有防呆机构，防止人工将清洗件放置错误。鼠笼设有旋转到位防呆检测。动平衡侦测转篮未定位保护，降低因人为导致设备损坏。主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制，主轴震动值可监测。可预设多条Recipe，操作简洁。选配SECS/GEM接口。可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能。 芯梦设备采用高效节能技术，助你节约能源开支！青海FOUP清洗机按需定制

芯梦半导体专注品质，从不将就！江苏全自动晶圆盒清洗机规格尺寸

我们提供各种半导体片盒、FOUP、FOSB清洁方案客户定制清洗方案做到360度无死角清洗，并防止细菌滋生专项研发双流体旋转喷射清洗方式，实现超微精密清洗，节能设计;高效干燥技术，AMC化合物去除技术全生产过程实时监控，兼容自动传输系统(AMHS);SEMI通讯标准兼容GEM300，符合SEMIS2、S8标准高产量，占地面积设计。

我们的晶圆盒清洗机采用智能化设计，结构紧凑，占用空间小，适合各种生产场景。外观精美，质感上乘，提升了生产品质。同时，我们的晶圆盒清洗机具有多种智能功能，能够自动识别晶圆盒类型，自动调整清洗和干燥的参数，保证清洗和干燥的效果稳定可靠。操作简单，维护方便，降低使用成本。选择我们的晶圆盒清洗机，让您的晶圆生产更加智能化、便捷！

江苏全自动晶圆盒清洗机规格尺寸

芯梦拥有近12000平米的研发生产基地，包括超过3000平米的千级洁净室和万级装配车间，配备有精密的研发检测仪器设备。芯梦的创始团队成员均为半导体装备领域从业数十年的专业人才，目前芯梦已经建立了一支多学科交叉、实力雄厚的技术研发团队，目前公司拥有员工总数290余人，其中技术研发人员90余人，售后服务人员近40人。我们高度重视知识产权保护，主营产品已获得数十项授权专利，包括近20件授权发明专利，并通过了知识产权管理体系认证。