浙江全自动片盒清洗机厂家电话 江苏芯梦半导体设备供应

产品说明 

8-12 Inch 单片晶圆dry-in/dry-out清洗平台，适用于先进封装制程的particle、有机、无机、助焊剂等污染物清洗。可选配二流体、megasonic、超高压喷洗、RCA 、Hot water及蒸气等清洗方式，浙江全自动片盒清洗机厂家电话，浙江全自动片盒清洗机厂家电话，清洗工艺窗口宽，清洗能力强，占地面积小，性价比高等特点。

功能说明

制程均匀度可用 recipe 调控，浙江全自动片盒清洗机厂家电话。

良率优于 wet bench type。

单片模式之机况可控制可追溯。

制程个别参数易于调整。

可控制之药液量使用,能保持每片芯片之相同制程环境。

洁净度控制优于批次生产。

Footprint 较小。

适用于 wafer dry in / dry out制程。

机台之安全性优于 bench type。

为未来湿式高阶设备之主流机台。 选择芯梦的设备，让你的生产过程更加安全、稳定！浙江全自动片盒清洗机厂家电话

江苏芯梦/JSXM，成立于2019年8月，位于苏州吴中经济开发区，致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。江苏芯梦/JSXM，成立于2019年8月，位于苏州吴中经济开发区，致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。

江苏芯梦成立三年来高速发展，现有员工人数近300人，其中40%为技术研发人员，近3年营收复合增长率超100%。江苏芯梦始终坚持创新，不断攀登半导体湿法装备技术高峰，自主研发的国内首台全自动ENEPIG化学镀设备目前市场占有率国内;自主研发的全自动FOUP清洗设备成功打破国外垄断。 北京片盒清洗机报价芯梦设备具有灵活的生产模式，满足你的个性化需求！

FOUP是一种用于运输和储存半导体晶圆的载具，因此，FOUP内可能存在多种类型的污染物。以下是一些常见的FOUP内污染物的种类：

颗粒：颗粒是常见的FOUP内污染物之一。它们可以是空气中悬浮的固体颗粒，如灰尘、细粉、纤维等，也可以是由FOUP本身或制造过程中产生的颗粒，如塑料碎片、金属屑等。颗粒对半导体制造过程非常敏感。

油脂和有机物：FOUP内可能存在油脂和有机物的污染，这些污染物可以来自FOUP制造材料中的残留物、操作人员的接触、环境空气中的挥发物等。

水分：水分是另一个常见的FOUP内污染物。它可以来自环境湿度、冲洗过程中的残留水、操作人员的接触等。水分在半导体制造过程中可能引起氧化、腐蚀和电性能问题。

化学物质残留：FOUP内可能存在一些化学物质的残留，如清洗剂、腐蚀剂、溶剂等。这些残留物可能对晶圆表面和器件产生不良影响。

静电电荷：FOUP内的静电电荷也可能成为一种污染物，对晶圆和器件产生影响。静电电荷可能导致电性能问题、颗粒吸附以及静电放电等问题。

产品介绍：半导体清洗机请认准江苏芯梦半导体设备有限公司，经营各类半导体清洗机，为国内半导体清洗机专业供应商，其中就包含FOUP清洗机。

FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒（SmifFoup、Fosb、Cassette）,可以实现良好的清洗和干燥效果。装载有待清洗的foup,在Chamber的中心转轴上安装和固定,在封闭的清洗室内360°正反转动。由DIWater的表面张力、机械力进行Particle清洗,离心＋热风进行烘干等工艺组成，高效率、高质量完成foup的Particle清洗。

设备特点：

●多达十段清洗流程设定,工艺窗口更宽；

●含有自动执行状态显示，快速检视状态及工作时间；

●扭力侦测转篮卡榫未定位保护，降低因人为导致设备损坏；

●主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制；

●旋转式离心清洗，可正反调速旋转，清理产品表面的附着残留；

●以IR烘烤加速干燥时间,无任何水份残留；

●采用流体(二流体选项)的清洗模式，能有效的去处微小的污染物；

●操作程序PLC控制可按作业需求自由调整，方便快捷，人性化设计。

应用范围：

该设备主要用于半导体制程的Foup、Fosb、Cassette的Particle清洗。

芯梦设备配备快速调整功能，适应不同使用场景！

FOUP清洗机是一种专门用于清洗FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）的设备，广泛应用于半导体制造行业。FOUP是存放晶圆的封闭式容器，清洗机通过自动化的过程，去除FOUP内外的污染物，以确保晶圆的高纯度和可靠性。FOUP清洗机具备多种功能和处理能力。它能够去除FOUP内的各种污染物，如油脂、有机物、化学物质残留和水分。清洗机采用不同的清洗方法，如喷淋、浸泡、超声波等，根据不同的污染程度和要求进行处理。该设备具有高效、自动化的特点。它能够在短时间内完成清洗过程，提高生产效率。自动化控制系统确保清洗过程的精确执行，减少人为操作的误差和风险。清洗机还配备直观的用户界面和操作面板，方便操作人员监控和控制清洗过程。FOUP清洗机注重安全性和可靠性。它采用高质量的材料和密封结构，确保清洗过程中不会对FOUP造成损害。安全控制系统和报警装置保障操作人员的安全。此外，清洗机还具备数据记录和追溯功能，方便对清洗过程进行监控和分析。芯梦设备采用先进的生产工艺，帮助你实现高效生产！河南全自动片盒清洗机联系人

芯梦设备采用智能化管理系统，助你实现生产智能化！浙江全自动片盒清洗机厂家电话

辅助功能和操作控制

触摸屏安装在前面一标准化

也可以通过安装第二个触摸屏在背面进行控制一选项

其他特征

工艺腔室内LED灯光照明

可安装去静电装置和电阳率监测装置选项

稳定、亚光不锈钢笼子

材料的外壳一可选择符合FM4910标准

PP材料的工艺腔室一可选择符合FM4910标准

设备前面带有滑动门一标准化为手动/可选择自动

设备前面的滑动门在做维护时可完全打开

其他种类的花篮和片盒相适应的组件一选项图形化的界面

易于操作和控制

10“触摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口

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江苏芯梦半导体设备有限公司专注于为衬底、集成电路和先进封装等领域提供先进湿法制程装备及工艺的解决方案。我们的主要产品涵盖全自动晶圆级ENEPIG化学镀设备、全自动晶圆盒清洗机、全自动单片清洗机、以及单片电镀机等。芯梦始终秉持技术创新的理念，不断攻克创新产品技术，践行在微纳领域用先进技术护家强国的企业使命。我们引以为傲的是国内首台全自动ENEPIG化学镀设备，该设备成功打破了国外的垄断，目前在国内市场占有率超过80%，积累了数十个在国内半导体行业的成功案例。我们还自主研发了国内首台全自动晶圆盒清洗机，成功打破了国外的垄断，并已在国内多家半导体企业中得到广泛应用。