中国台湾FOSB清洗机供应商家 江苏芯梦半导体设备供应

优点

装载晶圆直径至200mm的花篮和片盒一或不同晶圆尺寸的花和片盒，同时可装载晶圆直径至300mm的前端开口片盒(Foup片盒)三种设备尺寸满足客户特殊需求

CleanStepl-用于4组花篮和片盒加载和清洗能力:每次4组花和片盒清洗产能:每小时12组花篮和片盒、>、CleanStepll-用于8组花篮和片盒加载和清洗能力:每次8组花篮和片盒清洗产能:每小时24组花篮和片盒

CleanStepIl-用于6组前端开口片盒(Foup)加载和清洗能力:每次6组前端开口片盒(Fup片盒)清洗产能:每小时18组前端开门片盒(Foup片盒)

适用于晶圆直径至200mm的花篮和片盒的标准旋转笼(CleanstepI/II)

适用于所有片盒一次清洗过程

或是同时4组花篮和片盒，中国台湾FOSB清洗机供应商家，或是12个花跨(CleanstepI/II)

简单快捷的对不同尺寸的片盒和花篮进行切换

旋转笼内的可旋转载体方便加载或卸载花篮和片盒

通过控制系统对自锁装置的检测，中国台湾FOSB清洗机供应商家，中国台湾FOSB清洗机供应商家，达到安全加载片盒和花篮，、 芯梦设备采用高效节能技术，助你节约能源开支！中国台湾FOSB清洗机供应商家

功能优势：

1.符合SEMI行业标准，兼容自动传输系统（AMHS）;

2.专项研发FOUP-水气清洁管路与腔体清洁环境，Class10级微型洁净环境空间;

3.Robot动态曲线搬运，防止交叉污染，FOUP分体清洁，清洁控制系统;

4.设备与腔体工艺化无菌处理，防止细菌滋生;

5.专项研发双流体旋转喷射清洗方式，实现超微精密清洗，节能设计;

6.高效红外干燥技术，AMC控制技术;

7.以高质量，高产量、节能为理念，占地面积设计.

软件功能：

1.通讯标准符合SEMISECS/GEM300协议、E84OHT等通讯;

2.整机设计符合SEMIS2、S8、F47设计标准（国际莱茵TUVSEMI证书）.

3.工控机PC与PLC实现设备安全闭环控制，PC负责Host通讯与Robot调度，PLC负责各单元功能控制与IO处理.

4.友好的人机界面. 中国台湾半自动FOSB清洗机厂家报价我司设备具有高精度特点，确保生产质量！

FOUP内油脂和有机物的去除方法可以采取以下措施：清洗剂清洗：使用适当的清洗剂可以有效去除FOUP内的油脂和有机物。选择合适的清洗剂，根据FOUP的材料和所需清洗的有机物类型来确定。清洗剂通常会溶解或分解油脂和有机物，并通过冲洗或浸泡的方式将其从FOUP表面去除。超声波清洗：超声波清洗不仅可用于去除颗粒物，也可用于去除FOUP内的油脂和有机物。超声波的震动作用可以在微小尺度上产生冲击波，从而将油脂和有机物从FOUP表面剥离。蒸汽清洗：蒸汽清洗是一种将热蒸汽引入FOUP内部的方法，利用高温和湿热的效果去除油脂和有机物。蒸汽可以使油脂和有机物软化，从而更容易被清洗剂或冲洗水带走。溶剂清洗：一些有机物可以通过溶剂清洗来去除。选择适当的溶剂，如酒精、异丙醇等，根据有机物的性质进行清洗。溶剂可以帮助溶解和分离油脂和有机物，然后通过冲洗或浸泡的方式将其去除。气相清洗：气相清洗使用气体，如氮气或惰性气体，通过高速喷射或气流吹扫的方式，将油脂和有机物从FOUP表面带走。气相清洗适用于较轻的污染物和难以直接接触的区域。

在FOUP内去除颗粒物的方法可以采取多种措施，以下是一些常见的方法：喷气清洗：使用压缩空气或氮气等气流，通过喷射到FOUP内部，将颗粒物从FOUP表面吹走。喷气清洗可以通过喷嘴、喷气等设备来实现，通常结合定向气流和适当的气流速度，以有效地去除颗粒物。超声波清洗：超声波清洗是一种利用高频声波震动的方法，可以将FOUP内的颗粒物从表面剥离。超声波的震动作用可以在微小的尺度上产生冲击波，从而破坏颗粒物与FOUP表面的附着力，使其脱落。湿拭清洗：湿拭清洗使用湿润的擦拭布或棉签等工具，直接擦拭FOUP的表面，将颗粒物吸附到擦拭物上。这种方法适用于较大或较粘附的颗粒物，可以通过多次擦拭和更换擦拭物来提高清洁效果。静电除尘：由于FOUP的材料通常具有一定的静电特性，可以利用静电除尘技术去除颗粒物。静电除尘通常通过在FOUP内部放置静电除尘装置，利用静电作用将颗粒物吸附到带电的部件上，然后移除这些带电部件以去除颗粒物。过滤器和过滤介质：在FOUP的设计中，可以使用过滤器和过滤介质来阻止颗粒物进入FOUP内部。这些过滤器通常位于FOUP的入口和出口处，以过滤空气中的固体颗粒和其他污染物，从而减少FOUP内的颗粒物数量。江苏芯梦为广大客户提供性能优异的高性价比生产设备，助力中国企业升级转型！

产品说明 

8-12 Inch 单片晶圆dry-in/dry-out清洗平台，适用于先进封装制程的particle、有机、无机、助焊剂等污染物清洗。可选配二流体、megasonic、超高压喷洗、RCA 、Hot water及蒸气等清洗方式，清洗工艺窗口宽，清洗能力强，占地面积小，性价比高等特点。

功能说明

制程均匀度可用 recipe 调控。

良率优于 wet bench type。

单片模式之机况可控制可追溯。

制程个别参数易于调整。

可控制之药液量使用,能保持每片芯片之相同制程环境。

洁净度控制优于批次生产。

Footprint 较小。

适用于 wafer dry in / dry out制程。

机台之安全性优于 bench type。

为未来湿式高阶设备之主流机台。 江苏芯梦半导体设备有限公司是你的必备之选！海南FOSB清洗机单价

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产品介绍：

全自动FOUP清洗机适用于行业主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金属离子清洗。

设备配备多级精密过滤系统，有效保证洁净等级，满足制程需求class10/100。

配置多种喷淋清洗工艺，可实现360°清洗，

保证制程的高精度清洗需求。

配备真空干燥系统可提升效率，满足低湿度要求，湿度实时监控。

1.支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议，SECS/GEM200/300。

2.支持OHT/PGV/AGV设备对接。

3.符合SEMIS2、S8/CE半导体制造标准及认证。

应用范围：该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。

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江苏芯梦半导体设备有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在江苏省等地区的机械及行业设备中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，江苏芯梦半导体设备供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！