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江苏芯梦半导体设备有限公司 镍钯金化学镀设备|晶圆盒清洗机|单片清洗机|槽式清洗机
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吉林全自动FOSB清洗机联系人 江苏芯梦半导体设备供应

2023-12-22 04:10:05

对于晶圆加工的各个环节而言,清洗工艺都是必不可少的基本工序,随着芯片制造工艺先进程度的持续提升,对晶圆表面污染物的控制要求也在不断提高,清洗工序也不断向精细化发展,而对清洗设备的需求也在相应增加。

据SEMI的数据预测,到2025年,中国在半导体行业的设备采购将达到345亿美元,占全球三分之一,其中FOUP盒清洗设备采购占有很大比例,而目前国内品牌在这一领域还几乎处于空白状态,主要依靠美系和日系产品,可以说国内的FOUP盒清洁设备还是一片蓝海。面对巨大的机遇与挑战,江苏芯梦半导体设备有限公司迎难而上,开发了拥有自主知识产权的FOUP盒清洁设备,填补了国内行业空白。


江苏芯梦的设备具有多种智能功能,助你轻松应对生产挑战!吉林全自动FOSB清洗机联系人

Foup清洗机是半导体制造中不可或缺的设备,用于清洗和处理晶圆载具(Foup)。我们的Foup清洗机采用智能化设计,满足您对生产的多重需求。外观精美,质感上乘,提升生产品质。采用品质材料,使用寿命长,是您的长久伙伴。具有多种智能功能,助您轻松应对生产挑战。操作简单,维护方便,降低使用成本。我们的晶圆盒具有高精度功能,确保生产体验。采用先进的自动化控制技术,提升使用效率。选择我们的Foup清洗机,让您的晶圆生产更加便捷、舒适!吉林全自动FOSB清洗机联系人选择我司设备,让你的生产更加智能化、自动化!

产品介绍:半导体清洗机请认准江苏芯梦半导体设备有限公司,经营各类半导体清洗机,为国内半导体清洗机专业供应商,其中就包含FOUP清洗机。

FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机,适用于所有类型的晶圆料盒(SmifFoup、Fosb、Cassette),可以实现良好的清洗和干燥效果。装载有待清洗的foup,在Chamber的中心转轴上安装和固定,在封闭的清洗室内360°正反转动。由DIWater的表面张力、机械力进行Particle清洗,离心+热风进行烘干等工艺组成,高效率、高质量完成foup的Particle清洗。

设备特点:

●多达十段清洗流程设定,工艺窗口更宽;

●含有自动执行状态显示,快速检视状态及工作时间;

●扭力侦测转篮卡榫未定位保护,降低因人为导致设备损坏;

●主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制;

●旋转式离心清洗,可正反调速旋转,清理产品表面的附着残留;

●以IR烘烤加速干燥时间,无任何水份残留;

●采用流体(二流体选项)的清洗模式,能有效的去处微小的污染物;

●操作程序PLC控制可按作业需求自由调整,方便快捷,人性化设计。

应用范围:

该设备主要用于半导体制程的Foup、Fosb、Cassette的Particle清洗。


晶圆盒清洗机包括

FoupCleaner;

Xtrim-FC-M300/400高速型;

FouPCleaner;

Xtrim-FC-H300水平机

AutoFOUP/FOSBCleaningSystem

全自动FOUP/FOSB清洗机Xtrim-FC-A300

Xtrim-FC-M300Introduction:

产品介绍:

Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness;

在清洗机行业超25年经验;

ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou;

在上海,苏州有完善的服务和销售团队

Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners;

自主研发设计、生产、服务、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗;

SEMI S2认证;


我司设备采用先进的传感技术,确保生产过程准确无误!

FOUP内的水分可以通过以下方法进行去除:真空干燥:将FOUP放置在真空环境中,利用真空的负压效应将FOUP内的水分蒸发。真空干燥可以有效地去除FOUP内的水分,但需要确保FOUP的密封性良好,以防止外部空气进入。热处理:将FOUP加热至较高的温度,使水分蒸发。热处理可以利用热能将水分从FOUP中驱除,但需要注意温度选择,以避免对FOUP材料或晶圆造成损害。干燥剂吸附:在FOUP内放置吸湿性较强的干燥剂,例如硅胶、分子筛等。这些干燥剂可以吸附FOUP内的水分,保持FOUP内的相对湿度较低。加热通风:通过在FOUP周围提供加热通风系统,将温暖的空气引入FOUP内。热空气可以提高FOUP内的温度,促进水分的蒸发,并通过通风系统将湿气排出。气体吹扫:使用干燥的气体,例如压缩空气或氮气,通过喷嘴或气流吹扫的方式将FOUP内的水分带走。气体吹扫可以在FOUP内产生气流,将水分从FOUP表面带走。江苏省晶圆盒清洗机哪家靠谱就选江苏芯梦半导体设备有限公司!山西FOUP清洗机供应商家

江苏芯梦的设备结构稳固,性能可靠,是你的生产好帮手!吉林全自动FOSB清洗机联系人

江苏芯梦/JSXM,成立于2019年8月,位于苏州吴中经济开发区,致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。江苏芯梦/JSXM,成立于2019年8月,位于苏州吴中经济开发区,致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。

江苏芯梦成立三年来高速发展,现有员工人数近300人,其中40%为技术研发人员,近3年营收复合增长率超100%。江苏芯梦始终坚持创新,不断攀登半导体湿法装备技术高峰,自主研发的国内首台全自动ENEPIG化学镀设备目前市场占有率国内;自主研发的全自动FOUP清洗设备成功打破国外垄断。 吉林全自动FOSB清洗机联系人

芯梦拥有近12000平米的研发生产基地,包括超过3000平米的千级洁净室和万级装配车间,配备有精密的研发检测仪器设备。芯梦的创始团队成员均为半导体装备领域从业数十年的专业人才,目前芯梦已经建立了一支多学科交叉、实力雄厚的技术研发团队,目前公司拥有员工总数290余人,其中技术研发人员90余人,售后服务人员近40人。我们高度重视知识产权保护,主营产品已获得数十项授权专利,包括近20件授权发明专利,并通过了知识产权管理体系认证。

关于我们

江苏芯梦/JSXM,成立于2019年8月,位于苏州吴中经济开发区,致力于提供晶圆制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。 江苏芯梦成立三年来高速发展,现有员工人数近300人,其中40%为技术研发人员,近3年营收复合增长率超100%。江苏芯梦始终坚持创新,不断攀登半导体湿法装备技术高峰,自主研发的国内首台全自动ENEPIG化学镀设备目前市场占有率国内;自主研发的全自动FOUP清洗设备成功打破国外垄断,并已进入国内半导体企业应用。 江苏芯梦高度重视技术创新和知识产权保护,并获得了国家高新技术企业、江苏省双创人才企业、江苏省潜在独角兽企业、江苏省民营科技企业、江苏省三星级上云企业、姑苏创业人才企业、苏州市企业工程技术研究中心、苏州市瞪羚计划入库企业、东吴科技人才企业等多项荣誉资质。

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