中国香港半自动晶圆盒清洗机厂家电话 江苏芯梦半导体设备供应

我们的FOUP清洗机具有多项安全性能设计，以确保在使用过程中尽可能地降低风险和保护操作人员的安全。以下是我们清洗机的安全性能介绍：

DBPS动平衡保护；

WirelessSensorfool-proofProtectionSystem；

无线传感器保护系统；

LPLPS防漏液保护；

LLPS液位防护；

Hightemperatureinterlockcontrolprotection高温联锁控制防护；

Interlockprotectionofelectriccabinet内置门电控箱联锁防护；

WindPressureProtection风压防护；

Cassette表面保护 选择芯梦设备，让你的生产更加高效！中国香港半自动晶圆盒清洗机厂家电话

FOUP清洗机特性：可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes 及其他可装载于清洗篮之制品。伺服马达驱动,设有扭力侦测安全机构，防止人为误操作造成损坏及危险。具备停机自动归位功能，方便装载清洗制品。旋干制程中除IR干燥外，运用气流干燥，可加速去除较大水滴，增进干燥效果; 进而提升效率。

应用范围：该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。

分类：

全自动FOUP清洗机、半自动foup清洗机。

4寸~12寸全尺寸兼容，快速实现干进干出，30~60分钟完成1次清洗工艺节拍，更大吞吐量 全自动片盒清洗机报价江苏芯梦半导体设备有限公司是你的必备之选！

FOUP清洗机通常具有以下特点和功能：高效清洗：FOUP清洗机能够通过各种方式对FOUP进行高效清洗，包括喷淋清洗、超声波清洗等。洁净度要求高：FOUP清洗机需要保证清洁度高，通常采用高纯水和特殊的清洗剂进行清洗，以确保FOUP内部达到洁净度要求。自动化操作：FOUP清洗机通常具有自动化的操作功能，能够通过预设程序完成清洗过程，提高清洗效率。安全性能：FOUP清洗机通常配备安全保护装置，确保操作人员和设备的安全。智能控制：一些FOUP清洗机还配备了智能控制系统，能够监测清洗过程中的各项参数，并能够自动调整。

FOUP清洗机是用于清洗半导体制造中的FOUP（Front Opening Unified Pod）的设备。FOUP是用于存放半导体晶圆的封闭式容器，在半导体制造过程中起到了关键的作用。FOUP清洗机的主要功能是清洗FOUP，确保FOUP内部的洁净度，以保证半导体晶圆在制造过程中不受到污染。

功能配置:管路配置:压力检测系统、流量检测系统、温度检测系统、漏液检测系统加热系统:闭环温控、超温切断、微曲线加热算法、宕机应急闭环等系统真空与N平衡系统:真空度检测监控保压系统、N平配比净化系统NPurge系统:温湿度高速检测系统、平衡FOUP压力与温湿度算法Robot安全控制系统:设置空间安全虚拟围栏、曲线算法路径空FOUP检测系统:FOUP物料感知系统、检测FOUP进料状态RFID数据系统:FOUP实时状态检测 芯梦设备采用先进的自动化控制技术，提升生产效率！

晶圆盒清洗机包括

FoupCleaner；

Xtrim-FC-M300/400高速型；

FouPCleaner；

Xtrim-FC-H300水平机

AutoFOUP/FOSBCleaningSystem

全自动FOUP/FOSB清洗机Xtrim-FC-A300

Xtrim-FC-M300Introduction：

产品介绍：

Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness；

在清洗机行业超25年经验；

ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou；

在上海，苏州有完善的服务和销售团队

Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners；

自主研发设计、生产、服务、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗；

SEMI S2认证；

我司设备的功能和性能已经得到了广大用户的认可和好评。重庆全自动FOSB清洗机供应商家

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FOUP清洗机是一种专门用于清洗FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）的设备，广泛应用于半导体制造行业。FOUP是存放晶圆的封闭式容器，清洗机通过自动化的过程，去除FOUP内外的污染物，以确保晶圆的高纯度和可靠性。FOUP清洗机具备多种功能和处理能力。它能够去除FOUP内的各种污染物，如油脂、有机物、化学物质残留和水分。清洗机采用不同的清洗方法，如喷淋、浸泡、超声波等，根据不同的污染程度和要求进行处理。该设备具有高效、自动化的特点。它能够在短时间内完成清洗过程，提高生产效率。自动化控制系统确保清洗过程的精确执行，减少人为操作的误差和风险。清洗机还配备直观的用户界面和操作面板，方便操作人员监控和控制清洗过程。FOUP清洗机注重安全性和可靠性。它采用高质量的材料和密封结构，确保清洗过程中不会对FOUP造成损害。安全控制系统和报警装置保障操作人员的安全。此外，清洗机还具备数据记录和追溯功能，方便对清洗过程进行监控和分析。中国香港半自动晶圆盒清洗机厂家电话