2023-12-28 04:09:52
产品介绍:全自动FOUP清洗机适用于行业主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金属离子清洗。设备配备多级精密过滤系统,有效保证洁净等级,满足制程需求class10/100。配置多种喷淋清洗工艺,可实现360°清洗,保证制程的高精度清洗需求。配备真空干燥系统可提升效率,满足低湿度要求,湿度实时监控。(Option)1.支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议,SECS/GEM200/300。2.支持OHT/PGV/AGV设备对接。3.符合SEMIS2、S8/CE半导体制造标准及认证。应用范围:该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。选择江苏芯梦设备,让你的生产更加智能化、自动化!浙江半自动晶圆盒清洗机怎么收费
功能优势:
1.符合SEMI行业标准,兼容自动传输系统(AMHS);
2.专项研发FOUP-水气清洁管路与腔体清洁环境,Class10级微型洁净环境空间;
3.Robot动态曲线搬运,防止交叉污染,FOUP分体清洁,清洁控制系统;
4.设备与腔体工艺化无菌处理,防止细菌滋生;
5.专项研发双流体旋转喷射清洗方式,实现超微精密清洗,节能设计;
6.高效红外干燥技术,AMC控制技术;
7.以高质量,高产量、节能为理念,占地面积设计.
软件功能:
1.通讯标准符合SEMISECS/GEM300协议、E84OHT等通讯;
2.整机设计符合SEMIS2、S8、F47设计标准(国际莱茵TUVSEMI证书).
3.工控机PC与PLC实现设备安全闭环控制,PC负责Host通讯与Robot调度,PLC负责各单元功能控制与IO处理.
4.友好的人机界面. 中国香港半自动FOUP清洗机哪家便宜芯梦设备配备快速调整功能,适应不同使用场景!
我们的FOUP清洗机具有多项安全性能设计,以确保在使用过程中尽可能地降低风险和保护操作人员的安全。以下是我们清洗机的安全性能介绍:
DBPS动平衡保护;
WirelessSensorfool-proofProtectionSystem;
无线传感器保护系统;
LPLPS防漏液保护;
LLPS液位防护;
Hightemperatureinterlockcontrolprotection高温联锁控制防护;
Interlockprotectionofelectriccabinet内置门电控箱联锁防护;
WindPressureProtection风压防护;
Cassette表面保护
产品介绍:半导体清洗机请认准江苏芯梦半导体设备有限公司,经营各类半导体清洗机,为半导体清洗机专业供应商,其中就包含FOUP清洗机。FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机,适用于所有类型的晶圆料盒SmifFoup、Fosb、Cassette,可以实现无与比的清洗和干燥效果装载有待清洗的foup在Chambe的中转安装和固定在封的清洗室内36正反转动。由D1Wlate的表面张力、机械力进Patcdle清洗离心+热风进行供干等工艺组成,高效率、高质量完成foup的Particle清洗。设备特点:五大系统结构、纯水加热PWH、高压喷淋HPS(喷头位置/形状,可以根据客户料盒形态针对性调整)、热风烘干HAD(可选配CDA吹干和红外模式)、快速甩干HSD、CDA/N2吹扫。配备强大的兼容性:4寸~12寸全尺寸兼容,晶圆盒/光罩盒/弹匣/FOUP/FOSB等;30~60分钟完成1次清洗工艺,快速实现干进干出;四工位/六工位选择,依不同产品适配的装载量;配备可靠的过滤系统;EN18822-H14高等级空气过滤系统;0.1um超纯水过滤;0.003umCDA过滤。选择芯梦设备,让你的生产更加智能化、自动化!
FOUP清洗机是一种专门用于清洗FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)的设备,广泛应用于半导体制造行业。FOUP是存放晶圆的封闭式容器,清洗机通过自动化的过程,去除FOUP内外的污染物,以确保晶圆的高纯度和可靠性。FOUP清洗机具备多种功能和处理能力。它能够去除FOUP内的各种污染物,如油脂、有机物、化学物质残留和水分。清洗机采用不同的清洗方法,如喷淋、浸泡、超声波等,根据不同的污染程度和要求进行处理。该设备具有高效、自动化的特点。它能够在短时间内完成清洗过程,提高生产效率。自动化控制系统确保清洗过程的精确执行,减少人为操作的误差和风险。清洗机还配备直观的用户界面和操作面板,方便操作人员监控和控制清洗过程。FOUP清洗机注重安全性和可靠性。它采用高质量的材料和密封结构,确保清洗过程中不会对FOUP造成损害。安全控制系统和报警装置保障操作人员的安全。此外,清洗机还具备数据记录和追溯功能,方便对清洗过程进行监控和分析。芯梦设备的功能和性能已经得到了广大用户的认可和好评!中国台湾全自动花篮清洗机现货
芯梦设备采用先进的自动化控制技术,提升生产效率!浙江半自动晶圆盒清洗机怎么收费
晶圆盒清洗机包括
FoupCleaner;
Xtrim-FC-M300/400高速型;
FouPCleaner;
Xtrim-FC-H300水平机
AutoFOUP/FOSBCleaningSystem
全自动FOUP/FOSB清洗机Xtrim-FC-A300
Xtrim-FC-M300Introduction:
产品介绍:
Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness;
在清洗机行业超25年经验;
ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou;
在上海,苏州有完善的服务和销售团队
Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners;
自主研发设计、生产、服务、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗;
SEMI S2认证;
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