山东全自动晶圆盒清洗机商家 江苏芯梦半导体设备供应

功能优势：

1.符合SEMI行业标准，兼容自动传输系统（AMHS）;

2.专项研发FOUP-水气清洁管路与腔体清洁环境，Class10级微型洁净环境空间;

3.Robot动态曲线搬运，防止交叉污染，FOUP分体清洁，清洁控制系统;

4.设备与腔体工艺化无菌处理，防止细菌滋生;

5.专项研发双流体旋转喷射清洗方式，实现超微精密清洗，节能设计;

6.高效红外干燥技术，AMC控制技术;

7.以高质量，高产量、节能为理念，占地面积设计.

软件功能：

1.通讯标准符合SEMISECS/GEM300协议、E84OHT等通讯;

2.整机设计符合SEMIS2、S8、F47设计标准（国际莱茵TUVSEMI证书）.

3.工控机PC与PLC实现设备安全闭环控制，PC负责Host通讯与Robot调度，PLC负责各单元功能控制与IO处理.

4.友好的人机界面. 选择我司设备，让你的生产更加灵活、多样化！山东全自动晶圆盒清洗机商家

产品介绍：FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒（Smif Foup 、Fosb 、Cassette ）,可以实现良好的清洗和干燥效果。 装载有待清洗的foup,在Chamber的中心转轴上安装和固定,在封闭的清洗室内360 正 反转动。由DI Water的表面张力、机械力进行Particle清洗, 离心＋热风进行烘干等工艺组成，高效率、高质量完成foup的ParticFOUP清洗机,Casstte清洗机,FOSB清洗机,离心清洗机,晶圆清洗机,清洗干燥,360正反转动清洗机,离心热风洪干清洗机。湖南全自动FOSB清洗机报价芯梦设备采用智能化管理系统，助你实现生产智能化！

FOUP是一种用于运输和储存半导体晶圆的载具，因此，FOUP内可能存在多种类型的污染物。以下是一些常见的FOUP内污染物的种类：

颗粒：颗粒是常见的FOUP内污染物之一。它们可以是空气中悬浮的固体颗粒，如灰尘、细粉、纤维等，也可以是由FOUP本身或制造过程中产生的颗粒，如塑料碎片、金属屑等。颗粒对半导体制造过程非常敏感。

油脂和有机物：FOUP内可能存在油脂和有机物的污染，这些污染物可以来自FOUP制造材料中的残留物、操作人员的接触、环境空气中的挥发物等。

水分：水分是另一个常见的FOUP内污染物。它可以来自环境湿度、冲洗过程中的残留水、操作人员的接触等。水分在半导体制造过程中可能引起氧化、腐蚀和电性能问题。

化学物质残留：FOUP内可能存在一些化学物质的残留，如清洗剂、腐蚀剂、溶剂等。这些残留物可能对晶圆表面和器件产生不良影响。

静电电荷：FOUP内的静电电荷也可能成为一种污染物，对晶圆和器件产生影响。静电电荷可能导致电性能问题、颗粒吸附以及静电放电等问题。

提供各种半导体片盒、FOUP、FOSB清洁方案客户定制清洗方案做到360度无死角清洗，并防止细菌滋生专项研发双流体旋转喷射清洗方式，实现超微精密清洗，节能设计;高效干燥技术，AMC化合物去除技术全生产过程实时监控，兼容自动传输系统(AMHS);SEMI通讯标准兼容GEM300，符合SEMIS2、S8标准高产量，占地面积设计。

我们的晶圆盒清洗机配备了高精度的传感器和控制系统，能够精确控制清洗和干燥的时间和温度，确保清洗和干燥的效果稳定可靠。同时，我们的晶圆盒清洗机具有多种智能功能，能够自动识别晶圆盒类型，自动调整清洗和干燥的参数，提高生产效率。操作简单，维护方便，降低使用成本。选择我们的晶圆盒清洗机，让您的晶圆生产更加高效！ 选择我司设备，让你的生产更加智能、自动化！

全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:适用场景：用DIW/有机溶剂（可选）实现FOUP清洁，通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥。设备特点：清洗对象：6/8/12半自动FOUP/Cassette/POD。设备主要构成：旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统（可选）等机构组成。清洗能力：8只FOUP/小时（依配置的清洗腔真空腔数量而定）。干进干出。人工分离FOUP、POD，人工上下料及更换工装。旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易去除。工装设有防呆机构，防止人工将清洗件放置错误。鼠笼设有旋转到位防呆检测。动平衡侦测转篮未定位保护，降低因人为导致设备损坏。主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制，主轴震动值可监测。可预设多条Recipe，操作简洁。选配SECS/GEM接口。可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能。 选择芯梦设备，让你的生产更加灵活、多样化！上海全自动FOSB清洗机怎么收费

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FOUP清洗机的清洗通常涉及以下几个步骤：预处理：在FOUP清洗机中，FOUP首先会经过预处理步骤，以去除表面的大颗粒和杂质。这可能涉及使用喷淋装置、超声波清洗器等设备，以喷射和震动的方式清洗FOUP表面。清洗剂喷洒：清洗剂会被喷洒到FOUP表面，以去除附着在表面的污染物、油脂和有机物。清洗剂通常是一种化学溶液，具有去除污染物的特性。机械搅拌：一些FOUP清洗机可能具有机械搅拌功能，通过旋转或搅拌FOUP，在清洗剂的作用下，进一步加强清洗效果。机械搅拌可以帮助清洗剂更好地接触到FOUP表面的污染物，并将其彻底去除。冲洗：在清洗剂作用一段时间后，清洗机会进行冲洗步骤，将清洗剂和被去除的污染物冲洗掉。通常使用清洁的水源进行冲洗，以确保残留的清洗剂和污染物完全被去除。干燥：冲洗后，FOUP会进入干燥步骤，以去除残留的水分。这可以通过喷气装置、热风等方式实现。干燥是为了确保FOUP表面彻底干燥，避免水分残留引起的污染或其他问题。检测和质量控制：在清洗过程的不同步骤中，可以使用传感器、仪器和监测设备对FOUP进行检测和质量控制。这可以包括检测洁净度、颗粒检测、残留物检测等，以确保清洗效果符合要求。山东全自动晶圆盒清洗机商家